日本日立 SU8010   冷场发射扫描电子显微镜（SEM+EDS）

主要配置：

能谱仪(EDS)；离子溅射仪（Au-Pd靶）等

主要用途：

用于有机和无机材料的微观形貌结构的研究，通过观察微观形貌以及元素的含量来控制样品的质量。

主要技术指标：

分辨率：0.3nm；

加速电压：0.1 ~ 30kV （0.1KV）；

具有高位和低位二次电子探测器；

样品台驱动：3轴马达驱动(包含 两轴手动)；

物镜光阑: 4孔可调式，内置加热自清洁装置

主要学科领域：

材料科学,矿山工程技术,能源科学技术,航空、航天科学技术

服务技术领域：

新材料及生产工艺和设备,纳米材料,其他